向水中噴注臭氧是用臭氧化氣來完成的，工藝氣體的起始濃度在4.17×10^-4mol/L（20g/m³）數(shù)量級(jí)。假設(shè)一般接觸裝置的實(shí)際效率90%，尾氣中臭氧濃度可能達(dá)到4.17×10^-5mol/L（2g/m³）。在重復(fù)噴射或預(yù)臭氧化中，尾氣中的最終損耗能達(dá)到4.17×10^-6~1.04×10^-5mol/L（0.2~0.5g/m³）的程度。

臭氧的極限值（TLV）為4.46×10^-9mol/L，或大約0.2mg/m³，而當(dāng)停留時(shí)間短于30min時(shí)，可允許1.25×10^-8mol/L（0.6mg/m³）的濃度。臭氧的毒性特別是環(huán)境濃度高于TLV或最大容許濃度值（MAC）的毒性另有文獻(xiàn)評(píng)論。

含臭氧尾氣處理的另一問題是同臭氧在大氣中可能產(chǎn)生的影響有關(guān)。在大多數(shù)地區(qū)，“天然”大氣臭氧濃度隨緯度在（0.179~1.79）×10^-8mol/L間變化，平均地面濃度在8.93×10^-10mol/L數(shù)量級(jí)。季節(jié)變化對(duì)這些濃度有重大影響。晝夜因素也影響地面臭氧濃度，人口稠密區(qū)最高臭氧濃度一般是在日沒時(shí)觀測(cè)到的。

根據(jù)最近有關(guān)臭氧在環(huán)境大氣中穩(wěn)定性的研究，臭氧在霧中的半衰期約為4~5h.，此問題同因臭氧處理廠至住宅區(qū)的距離引起的爭議有關(guān)。

臭氧嗅味的檢測(cè)極限在（0.893~2.23）×10^-9mol/L的范圍內(nèi)。濃度達(dá)到1.34×10^-9mol/L以前人的工作能力是不受抑制的，在此濃度下的申訴仍屬于主觀上的。已有關(guān)于暴露在（0.893~1.34）×10^-9mol/L臭氧后無有害影響的報(bào)道。不危害植物生長的地面臭氧限制濃度為4.46×10^-8。

有關(guān)操作區(qū)和設(shè)備的安全預(yù)防措施也必須加以考慮，文獻(xiàn)中已有評(píng)論。這些措施包括工作室的適當(dāng)通風(fēng)，與接觸池水連接嚴(yán)實(shí)，以及用來查出從連接到鋼筋混凝土接觸池的電纜和管路泄露的專用設(shè)備。必須特別強(qiáng)調(diào)的是要采取適當(dāng)措施將尾氣中的臭氧分解，同時(shí)還必須注意，為了保護(hù)檢測(cè)設(shè)備的電子器件，工作場(chǎng)所的通風(fēng)也是必要的。