1980年9月本溪輕化工研究所研制陶瓷介質(zhì)材料臭氧發(fā)生單元。

河北邯鄲718研究所、寧夏大學、清華大學等單位開發(fā)了“開式”臭氧發(fā)生器產(chǎn)品，應(yīng)用于蛋果蔬易腐食品防霉保鮮、食品加工殺菌凈化等領(lǐng)域。

1981年，李漢忠教授擔任清華大學通力臭氧研究中心主任，與黃曼青、黃元生等人一起，在原有工頻臭氧發(fā)生器技術(shù)的基礎(chǔ)上，開發(fā)了小型的高頻臭氧發(fā)生器，其中空氣源25g/h高頻臭氧發(fā)生器獲得了國家科技獎勵。

1981年開始，清華大學設(shè)備儀器廠李漢忠、黃曼青、王淑玲等先后與環(huán)境系、自動化系合作組成研制小組，開發(fā)研制了板式高頻逆變電源臭氧發(fā)生器系列產(chǎn)品，彌補了國家的高中頻臭氧技術(shù)空白。其中CN87107561X《脈沖型高頻臭氧電源》是我國最早的臭氧技術(shù)發(fā)明專利，而CN85200020《雙面放電疊層臭氧放電室》則是我國第一個臭氧技術(shù)專利。3g/h~200g/h系列板式、管式高中頻臭氧發(fā)生器產(chǎn)品分別獲解放軍科技進步二等獎、北京市高新技術(shù)產(chǎn)品等獎項，在導(dǎo)彈推進劑污水處理，化學戰(zhàn)劑解毒等項目和食品加工貯藏防霉保鮮等領(lǐng)域應(yīng)用。此系列產(chǎn)品通過技術(shù)轉(zhuǎn)讓、產(chǎn)品推廣等擴散途徑對臭氧技術(shù)行業(yè)的進步發(fā)展起到了推動作用。

82年、84年，清華大學王占生，沈英鵬、張漢升等研制的1kg/h、2kg/h臭氧發(fā)生器進行了部、省級產(chǎn)品鑒定。該系列產(chǎn)品應(yīng)用于北京東方紅煉油廠廢水處理、北京燕山石化飲用水車間、東北等地多所醫(yī)院污水處理等領(lǐng)域。其中80年代中期燕山石化水廠5×1kg/h臭氧設(shè)備，利用臭氧——活性炭工藝處理密云水庫源水。至今仍在正常運行。這是當時使用國產(chǎn)臭氧設(shè)備發(fā)生量最大的臭氧水廠，也是運行時間最長的臭氧水廠。

上海海醫(yī)所丁南瑚與上海導(dǎo)航儀器廠合作研制板式臭氧發(fā)生器，并應(yīng)用于海軍艦艇日常用水的消毒處理。

上海香料二廠在市臭氧協(xié)作支持下進行雙水內(nèi)冷中頻臭氧發(fā)生單元的研究，中頻電源由上海長江電器廠研制，并應(yīng)用于香料的生產(chǎn)。

早期的臭氧檢測技術(shù)除國外已有的碘量法外，在八十年代，北京勞動環(huán)保研究所楊存金高級工程師研制了半定量的靛藍法檢測管，山東濱州商檢局的比色法，中科院環(huán)化所的庫侖法，尤其是北京氣體分析儀器廠的紫外吸收法，使我國臭氧檢測達到世界水平，而且得以實現(xiàn)在線檢測。